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表面潔凈度測試儀
一、 儀器介紹
概述：
表面潔凈度測試儀采接觸式，量測物體表面的粒子數量的設備。半導體，面板廠，設備商與所有清潔部件廠商，驗證部件表面是否干凈的檢驗標準工具，人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子，這些粒子會快速沉降，逃避常規(guī)的空氣檢測從而聚集在關鍵表面或產品上，從而減少產品的良率及降低產品的穩(wěn)定性。
執(zhí)行標準：
ISO14644-9:2022 《潔凈室和相關的受控環(huán)境第 9 部分:顆粒濃度表面清潔度的評估》
二、 儀器參數
技術參數：
控制系統(tǒng)：PLC
操作界面：7寸觸摸屏
流量:28.3L/min+5% 內置流量傳感器，流量自動閉環(huán)控制
光源: 進口激光二極管
測試粒徑:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um（可根據客戶需求定制，最多八個通道）
最大飽和濃度:2000000/ft3（5%）
自凈時間:≤10min
測量次數:0-99次周期:0-99999秒測量間:0-9999秒時時間:0-9999秒
潔凈度等級:1~9級
采樣頭規(guī)格:φ36.5
數據單位:m3、ft3
SCP等級:1級-8級
表面類型:圓形、方形
表面探頭:φ12.7 mm、φ20 mm、φ30 mm、φ50 mm、φ70 mm
數據單位:m2、ft2、in2、cm2、mm2
根據探頭的形狀（如:圓形輸入直徑、方形輸入長寬尺寸），自動計算出表面積。
打印功能:熱敏打印機
數據儲存:可儲存100000組數據
重量:15kg
外形尺寸:300*400*450mm
電源：AC220V 50Hz 150W （可選帶鋰電池組）
基本配置
主機 一臺
說明書 1份
合格證1份
簽收單1份
電源線1份
扳手1套
保修卡 一個
銘牌 一個
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